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  • 0.01㎛ Filter…?
  • 2023-03-16

NO. 09

2014.10.29 기술부 이종욱 차장

 

0.01㎛ Filter...?


 Q. 실제로 0.01 Filter는 존재 하는가?


제약회사 GMP(Good Manufacturing Practice) 및 반도체회사 공장 압축공기 시스템 업무를 해 보신 분은 경험해 보셨겠지만 IQ(Installation Qualification), OQ(Operational Qualification) Validation을 수행할 때 겪는 애로사항 중 0.1 Filter 0.01 Filter가 있는데특히 곤혹스러운 것이 0.01 Filter입니다왜냐하면, 0.01㎛는 기술적으로 사실상 불가능한 필터라고 관계자를 설득해도국내 모든 압축공기 필터 카탈로그에는 한결같이 0.01 Filter가 있기 때문입니다.


경험상 실무자들이 0.01㎛가 도대체 어느 정도로 작은 지를 느끼지 못하는 경우가 일반적입니다그래서 간단한 비례식을 사용하여 상대적으로 그 크기를 가늠할 수 있도록 설명해야만 0.01 Filter가 불가능하다는 것에 대해 어느 정도 수긍을 합니다.


마이크로미터(1) 1/1,000,000m이므로 0.01㎛는 1/1억 미터입니다.


 , 0.01=1/1억 m


지구 적도 지름은 약 12,756 km이므로 적도 둘레 길이는 π x 12,756,000m = 40,074,156m입니다.


이 지구 둘레(40,074,156m) 0.01㎛를 비례식으로 비교해보면,


1 : 100,000,000 = x : 40,074,156  x = 40,074,156 / 100,000,000  0.4m = 40cm


0.01㎛의 상대적 크기는 지구 위에 놓여있는 40cm 길이에 해당합니다이는 일반 성인 남성의 손 두 뼘 정도의 길이입니다. 0.01㎛가 얼마나 작은 크기인지 대략 느껴지시는지요?


압축공기 오염물질 및 순도 등급에 대해 정의하고 있는 『ISO 8573-1:2010』 규격에서 Filter 에 적용되는 고체 입자 등급만 표시하면아래 표 1. 과 같습니다.


등급

Class

단위 m3 당 최대 입자수

(Maximum number of particles per m3)

Mass

Concentration

(mg/m3)

0.10.5 micron

0.51.0 micron

1.05.0 micron

0

장치사용자 또는 공급자에 의해 규정되고 1등급보다 엄격할 때

(As specified by the equipment user or supplier and more stringent than Class 1)

-

1

 20,000

 400

 10

-

2

 400,000

 6,000

 100

-

3

-

 90,000

 1,000

-

4

-

-

 10,000

-

5

-

-

 100,000

-

6

-

 5

7

-

5 ~ 10

8

-

-

9

-

-

X

-

> 10


표 1. ISO 8573-1:2010 고체 입자 등급


현재국내에서 사용되는 필터 사양은 보통 40, 5, 1, 0.1, 0.01㎛ 정도 입니다. (현재 ISO 8573-1:2010 에서 0.01㎛ 는 없음.)


제약회사반도체회사 등에서 클린룸의 공기 청정도는 대단히 중요한 인자입니다. 그 이유는 공기 청정도에 따라서 품질에 영향을 미치게 되기 때문입니다. 그래서 제약회사나 반도체회사에서 Final Filter 의 여과 등급 사양은 항상 0.01㎛ 로 요구하고 있습니다.


이런 클린룸에 적용하는 규격에는 ISO 14644-1, 미국연방규격(Federal Standard 209) 등이 있습니다.


하지만 이러한 규격에서 조차 0.01㎛ 에 대한 언급은 없습니다규격에서 조차 없는 등급을 Filter 제조업체들이 만들어 제공을 하고 있는 것입니다아래 표 2. 와 표 3. 을 참조하시기 바랍니다. (ISO 14644-1, Federal Standard 209 에서 0.01㎛ 는 없음.)


 저희 ㈜은하에어테크 에서도 Filter를 제작 판매하고 있습니다물론 0.01 Filter를 제조하여 0.1 Filter 보다 몇 배 더 비싼 가격에 판매할 수는 있지만회사의 이익만을 위하여 규격에도 존재하지 않는 0.01 Filter를 판매하지는 않습니다.

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